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此刻,抗蚀剂的涂布体例按照电路图形的紧密度和产量分为以下三种体例:丝网漏印法、干膜/感光法、液态抗蚀剂感光法。
抗蚀油墨接纳丝网漏印法间接把线路图形漏印在铜箔外表上,这是经常操纵的手艺,合用于多量量出产,本钱昂贵。组成的线路图形的精度可以或许到达线宽/间距0.2~O.3mm,但不合用于更紧密的图形。跟着微细化这类体例慢慢不能顺应。与以下所论述的干膜法比拟须要有必然手艺的操纵职员,操纵职员必须颠末多年的培育,这是倒霉的身分。
干膜法只需装备、前提齐备便可制得70~80μm的线宽图形。此刻0.3mm以下的紧密图形大局部都可以或许用干膜法组成抗蚀线路图形。接纳干膜,其厚度是15~25μm,前提允许,批量程度可以或许建造30~40μm线宽的图形。
被挑选干膜时,必须按照与铜箔板、工艺的婚配性并经由过程尝试来肯定。尝试的程度即便有好的分辩才能,但并不必然在多量量出产操纵时能有很高的及格率。柔性印制板薄且易于曲折,若是选用硬一点的干膜则其较脆而随动性差,以是也就会发生裂痕或剥落从而使蚀刻的及格率降落。
干膜是卷状的,出产装备和功课较简略。干膜是由较薄的聚酯掩护膜、光致抗蚀膜和较厚的聚酯离型膜等三层布局所组成。在贴膜之前起首要把离型膜(又称隔阂)剥去,再用热辊将其贴压在铜箔的外表上,显影前再撕去下面掩护膜(又称载体膜或笼盖膜),普通柔性印制板两侧有导向定位孔,干膜可略微比要贴膜的柔性铜箔板狭小一点。刚性印制板用的主动贴膜装配不合用于柔性印制板的贴膜,必须停止局部的设想变动。因为干膜贴膜与其余的工序比拟线速率大,以是不少厂都不必主动化贴膜,而是接纳手工贴膜。
贴好干膜以后,为了使其不变,应安排1 5~20min以后再停止暴光。
线路图形线宽若是在30μm以下,用干膜组成图形,及格率会较着降落。批量出产时普通都不操纵干膜,而操纵液态光致抗蚀剂。涂布前提差别,涂布的厚度会有所变更,若是涂布厚度5~15μm的液态光致抗蚀剂于5μm厚的铜箔上,尝试室的程度可以或许蚀刻1Oμm以下的线宽。
液态光致抗蚀剂,涂布以后必须停止枯燥和烘焙,因为这一热处置会匹敌蚀膜机能发生很大影响,以是必须严酷节制枯燥前提。
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